A substrate processing apparatus is mechanically divided into processing
blocks including an indexer block 1, a BARC block 2, a resist coating
block 3, a development block 4, an interface block 5 and an inspection
block IB. These processing blocks each comprise a transport robot and a
substrate holding part which together serve as a substrate transport
mechanism. The substrate holding parts of the processing blocks all have
the same structure. The transport robot in each of the processing blocks
is accessible to the substrate holding part belonging to an adjacent
block.
Een apparaat van de substraatverwerking is mechanisch verdeeld in verwerkingsblokken met inbegrip van een indexeerdersblok 1, een BARC blok 2, verzet me deklaag tegen blok 3, een ontwikkelingsblok 4, een interfaceblok 5 en een inspectieblok IB. Deze die blokkeren elk bestaan uit een vervoerrobot en uit een deel verwerken van de substraatholding die samen als mechanisme van het substraatvervoer dienen. De delen van de substraatholding van de verwerking blokkeert allen hebben de zelfde structuur. De vervoerrobot in elk van de verwerkingsblokken is toegankelijk voor het deel dat van de substraatholding tot een aangrenzend blok behoort.
