A cell controller controls the operation of a transport robot to keep a
substrate belonging to a succeeding lot carried into a heating part in
the fourth transport cycle from being transported out of the heating part
in the next or fifth transport cycle, thereby preventing interference
between the transport of substrates belonging to the succeeding lot and
the transport of substrates belonging to a preceding lot. If interference
is likely to occur between the transport of the substrates belonging to
the succeeding lot and the transport of the substrates belonging to the
preceding lot, the cell controller causes the substrates belonging to the
succeeding lot not to be transported but to remain in processing units.
This allows the transport of the substrates belonging to the succeeding
lot in consideration of only the next transport cycle.
Un regulador de la célula controla la operación de una robusteza del transporte para mantener un substrato el pertenecer a una porción que tiene éxito llevada en una pieza de la calefacción el cuarto ciclo del transporte del transporte de la pieza de la calefacción en el ciclo siguiente o quinto del transporte, de tal modo previniendo interferencia entre el transporte de los substratos que pertenecen a la porción que tiene éxito y el transporte de los substratos que pertenecen a una porción precedente. Si interferencia es probable ocurrir entre el transporte de los substratos que pertenecen a la porción que tiene éxito y el transporte de los substratos que pertenecen a la porción precedente, el regulador de la célula causa los substratos que pertenecen a la porción que tiene éxito que no se transportará sino a permanecer en unidades de proceso. Esto permite el transporte de los substratos que pertenecen a la porción que tiene éxito en la consideración solamente del ciclo siguiente del transporte.
