A apparatus and method for forming windows in semiconductor devices to
enable visualization of the circuitry therein while electrically intact.
The device is affixed to a table that is oscillated in the X and Y
directions while a succession of rotating tools are brought to bear
against the surface of the device in the Z direction under a constant
force. The force is adjustable so as to allow the tool to float on the
surface of the workpiece.
Συσκευές και μια μέθοδος για τα παράθυρα στις συσκευές ημιαγωγών για να επιτρέψει την απεικόνιση των στοιχείων κυκλώματος εκεί μέσα ενώ ηλεκτρικά άθικτη. Η συσκευή επισυνάπτεται σε έναν πίνακα που ταλαντεύεται στις κατευθύνσεις Χ και Υ ενώ μια διαδοχή των περιστρεφόμενων εργαλείων εφαρμόζεται ενάντια στην επιφάνεια της συσκευής στην κατεύθυνση ζ κάτω από μια σταθερή δύναμη. Η δύναμη είναι διευθετήσιμη ώστε να επιτραπεί το εργαλείο για να επιπλεύσει στην επιφάνεια του κομματιού προς κατεργασία.