Electrode means, a method for its manufacture, an apparatus comprising the electrode means as well as use of the latter

   
   

In an electrode means comprising a first and a second thin-film electrode layers (L1, L2) with electrodes (.epsilon.) in the form of parallel strip-like electrical conductors in each layer, the electrodes (.epsilon.) are provided only separated by a thin film (6) of an electrically insulating material with a thickness at most a fraction of the width of the electrodes and at least extending along the side edges thereof and forming an insulating wall (6a) therebetween. The electrode layers (L1, L2) are planarized to obtain an extremely planar surface. In an apparatus comprising one or more electrode means (EM), the electrode layers (L1, L2) of each are mutually oriented with their respective electrodes (1;2) crossing at an angle, preferably orthogonally and with a functional medium (3) provided globally in sandwich therebetween, such that a preferably passive matrix-addressable apparatus is obtained and suited for use as e.g. a matrix-addressable data processing device or matrix-addressable data storage device comprising individually addressable functional elements (5) in the form of e.g. respectively logic cells or memory cells, the fill factor thereof in the global functional medium (3) approaching unity and a maximum number of the cells in the apparatus of approximately A/f.sup.2, wherein A is the area of the global functional medium (3) sandwiched between the electrode layers (L1, L2), and f is a process-constrained minimum feature.

Dans une électrode signifie comporter des premières et deuxièmes couches en couche mince d'une électrode (L1, L2) avec des électrodes (l'epsilon.) sous forme de parallèle dépouiller-comme les conducteurs électriques dans chaque couche, les électrodes (epsilon.) sont fournis a seulement séparé par une couche mince (6) d'un matériel électriquement de isolation avec une épaisseur tout au plus une fraction de la largeur des électrodes et se prolonger au moins le long des bords latéraux en et la formation d'un mur isolant (6a) therebetween. Les couches d'électrode (L1, L2) sont planarized pour obtenir une surface extrêmement planaire. Dans un appareil comportant un ou plusieurs moyens d'électrode (fin de support), les couches d'électrode (L1, L2) de chacune sont mutuellement orientées avec leurs électrodes respectives (1;2) croisant sous un angle, de préférence orthogonal et avec un milieu fonctionnel (3) fourni globalement en sandwich therebetween, tels qu'un appareil matrice-accessible de préférence passif est obtenu et approprié pour l'usage comme par exemple dispositif informatique matrice-accessible ou dispositif de stockage matrice-accessible de données comportant individuellement les éléments fonctionnels accessibles (5) sous forme par exemple respectivement de cellules de logique ou cellules de mémoire, le facteur de suffisance en dans l'unité d'approche du milieu (3) fonctionnel global et un nombre maximum des cellules dans l'appareil approximativement d'A/f.sup.2, où A est le secteur du milieu fonctionnel global (3) serré entre les couches d'électrode (L1, L2), et f est un dispositif minimum processus-contraint.

 
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