Matrix type piezoelectric/electrostrictive device and manufacturing method thereof

   
   

A matrix type piezoelectric/electrostrictive device in which a plurality of piezoelectric/electrostrictive elements almost in a pillar shape, each having a piezoelectric/electrostrictive substance and at least a pair of electrodes being formed on the sides of the substance, are vertically provided on a thick ceramic substrate. It is driven by displacement of the piezoelectric/electrostrictive substance. In this device, a plurality of piezoelectric/electrostrictive elements are integrally bonded to the ceramic substrate and independently arranged in two dimensions. The percentage of transgranularly fractured crystal grains on at least the sides of the piezoelectric/electrostrictive substance on which the electrodes are formed is 10% or less. The unit forms a curved surface near a joined section between the substance and the substrate. The present device can show excellent performances such as large displacement at a low voltage with pushing, distorting, moving, striking (impacting), or mixing an object of action and the like.

Un tipo dispositivo de la matriz de piezoelectric/electrostrictive en el cual una pluralidad de elementos de piezoelectric/electrostrictive casi en una forma del pilar, cada uno que tiene una sustancia de piezoelectric/electrostrictive y por lo menos un par de electrodos que son formados en los lados de la sustancia, se proporciona verticalmente en un substrato de cerámica grueso. Es conducida por la dislocación de la sustancia de piezoelectric/electrostrictive. En este dispositivo, una pluralidad de elementos de piezoelectric/electrostrictive se enlaza integralmente al substrato de cerámica y se arregla independientemente en dos dimensiones. El porcentaje de granos cristalinos transgranularly fracturados en por lo menos los lados de la sustancia de piezoelectric/electrostrictive en la cual se forman los electrodos es el 10% o menos. La unidad forma un cercano superficial curvada una sección unida entre la sustancia y el substrato. El actual dispositivo puede demostrar funcionamientos excelentes tales como dislocación grande en una baja tensión con empujar, torcer, la mudanza, el pulso (afectación), o mezclar de un objeto de la acción y de los similares.

 
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