Method and apparatus for MEMS optical sensing using micromirrors

   
   

An optical sensing device uses a set of source mirrors directing light from a set of light sources to a movable collector mirror. Each of the light sources has a unique wavelength. The collector mirror is coupled to a MEMS actuator that moves the collector mirror in response to a physical phenomena. A light collector gathers light from the collector mirror and the physical phenomena can be measured by determining the relative intensity associated with each of the light sources in the light gathered at the collector.

Eine optische Abfragung Vorrichtung benutzt einen Satz Quellspiegel, die Licht von einem Satz Lichtquellen auf einen beweglichen Kollektorspiegel verweisen. Jede der Lichtquellen hat eine einzigartige Wellenlänge. Der Kollektorspiegel wird zu einem MEMS Auslöser verbunden, der den Kollektorspiegel in Erwiderung auf körperliche Phänomene verschiebt. Versammlungen eines beleuchten helle Kollektors vom Kollektorspiegel und die körperlichen Phänomene können gemessen werden, indem man die relative Intensität feststellt, die mit jeder der Lichtquellen im Licht verbunden ist, das am Kollektor erfaßt wird.

 
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