Design-based reticle inspection allows for a more efficient prioritization
than typical human labor intensive reticle inspection techniques. A
processed netlist for an integrated circuit (IC) and/or layout of the IC
is used to determine the relative priorities of reticle defects identified
by a reticle inspection device. In one embodiment, the processed netlist
is a netlist that is derived by a verification tool based on a layout of
the IC design. The processed netlist can include component coordinates
that indicate the position of the components of the IC. In one embodiment,
the processed layout includes derived geometry, for example, critical
dimensions and/or device identifications that can be used to determine
regions of interest. In one embodiment, defects are prioritized based on
the location of the defects with respect to functional portions of the
integrated circuit. For example, regions of interest can be determined
around certain IC structures (e.g., transistor gates, minimum dimension
lines, line corners). In one embodiment, defects within the regions of
interest can be repaired while defects outside of the care zone can be
ignored. More complex defect prioritization can be provided by
prioritizing defects, for example, by size within the regions of interest.
By prioritizing defects by areas of interest, the number of defects
analyzed by a human operator and/or simulator can be decreased thereby
decreasing the cost of reticle inspection and repair.
Η σχέδιο-βασισμένη στο επιθεώρηση σταυρονημάτων επιτρέπει έναν αποδοτικότερο καθορισμό προτεραιοτήτων από τις χαρακτηριστικές ανθρώπινες τεχνικές επιθεώρησης σταυρονημάτων εργασίας εντατικές. Ένα επεξεργασμένο netlist για ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα (IC) ή/και το σχεδιάγραμμα του ολοκληρωμένου κυκλώματος χρησιμοποιείται για να καθορίσει τις σχετικές προτεραιότητες των ατελειών σταυρονημάτων που προσδιορίζονται από μια συσκευή επιθεώρησης σταυρονημάτων. Σε μια ενσωμάτωση, το επεξεργασμένο netlist είναι netlist που παράγεται από ένα εργαλείο επαλήθευσης βασισμένο σε ένα σχεδιάγραμμα του σχεδίου ολοκληρωμένου κυκλώματος. Το επεξεργασμένο netlist μπορεί να περιλάβει τις συστατικές συντεταγμένες που δείχνουν τη θέση των συστατικών του ολοκληρωμένου κυκλώματος. Σε μια ενσωμάτωση, το επεξεργασμένο σχεδιάγραμμα περιλαμβάνει την παραγόμενη γεωμετρία, παραδείγματος χάριν, κρίσιμοι διαστάσεις ή/και προσδιορισμοί συσκευών που μπορούν να χρησιμοποιηθούν για να καθορίσουν τις περιοχές ενδιαφέροντος. Σε μια ενσωμάτωση, οι ατέλειες δίνονται προτεραιότητα βασισμένος στη θέση των ατελειών όσον αφορά τις λειτουργικές μερίδες του ολοκληρωμένου κυκλώματος. Παραδείγματος χάριν, οι περιοχές ενδιαφέροντος μπορούν να καθοριστούν γύρω από ορισμένες δομές ολοκληρωμένου κυκλώματος (π.χ., πύλες κρυσταλλολυχνιών, ελάχιστες γραμμές διάστασης, γωνίες γραμμών). Σε μια ενσωμάτωση, οι ατέλειες μέσα στις περιοχές ενδιαφέροντος μπορούν να επισκευαστούν ενώ οι ατέλειες έξω από τη ζώνη προσοχής μπορούν να αγνοηθούν. Ο πιό σύνθετος καθορισμός προτεραιοτήτων ατέλειας μπορεί να παρασχεθεί με να δώσει προτεραιότητα στις ατέλειες, παραδείγματος χάριν, από το μέγεθος μέσα στις περιοχές ενδιαφέροντος. Με να δώσει προτεραιότητα στις ατέλειες από τους τομείς ενδιαφέροντος, ο αριθμός ατελειών που αναλύονται από έναν ανθρώπινο χειριστή ή/και έναν προσομοιωτή μπορεί να μειωθεί με αυτόν τον τρόπο μειώνοντας το κόστος της επιθεώρησης και της επισκευής σταυρονημάτων.
