An automated semiconductor processing system has an indexer bay perpendicularly aligned with a process bay within a clean air enclosure. An indexer in the indexer bay provides stocking or storage for work in progress semiconductor wafers. Process chambers are located in the process bay. A process robot moves between the indexer bay and process bay to carry semi-conductor wafers to and from the process chambers. The process robot has a robot arm vertically movable along a lift rail. Semiconductor wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid contamination. The automated system is compact and requires less clean room floor space.

Un système de traitement automatisé de semi-conducteur a un compartiment de sélecteur perpendiculairement aligné avec un compartiment de processus dans une clôture propre d'air. Un sélecteur dans le compartiment de sélecteur fournit le bas ou le stockage pour les gaufrettes de semi-conducteur en marche de travail. Des chambres de processus sont situées dans le compartiment de processus. Un robot de processus se déplace entre le compartiment de sélecteur et le compartiment de processus pour porter des gaufrettes de semi-finale-conductor à et des chambres de processus. Le robot de processus a un bras de robot verticalement mobile le long d'un rail d'ascenseur. Les gaufrettes de semi-conducteur sont excentrage porté du bras de robot, pour éviter mieux la contamination. Le système automatisé est contrat et exige moins de surface au sol de pièce propre.