A semiconductor workpiece holder for use in processing a semiconductor workpiece includes a workpiece support operatively mounted to support a workpiece in position for processing. A finger assembly is operatively mounted upon the workpiece support and includes a finger tip. The finger assembly is movable between an engaged position in which the finger tip is engaged against the workpiece, and a disengaged position in which the finger tip is moved away from the workpiece. Preferably, at least one electrode forms part of the finger assembly and includes an electrode contact for contacting a surface of said workpiece. At least one protective sheath covers at least some of the electrode contact. According to one aspect of the invention, a sheathed electrode having a sheathed electrode tip is positioned against a semiconductor workpiece surface in a manner engaging the workpiece surface with said sheathed electrode tip and forming a seal.

Een houder van het halfgeleiderwerkstuk voor gebruik in de verwerking van een halfgeleiderwerkstuk omvat een werkstuksteun doeltreffend opgezet om een werkstuk in positie voor verwerking te steunen. Een vingerassemblage wordt doeltreffend opgezet op de werkstuksteun en omvat een vingeruiteinde. De vingerassemblage is beweegbaar tussen een bezette positie waarin het vingeruiteinde tegen het werkstuk bezet is, en een losgemaakte positie waarin het vingeruiteinde van het werkstuk wordt verwijderd. Bij voorkeur, vormt minstens één elektrode een deel van de vingerassemblage en omvat een elektrodencontact voor het contacteren van een oppervlakte van bovengenoemd werkstuk. Minstens één beschermende schede behandelt minstens enkele elektrodencontact. Volgens één aspect van de uitvinding, wordt een in de schede gestoken elektrode die een in de schede gestoken elektrodenuiteinde heeft tegen een oppervlakte van het halfgeleiderwerkstuk op een manier geplaatst die de werkstukoppervlakte met bovengenoemd in de schede gestoken elektrodenuiteinde in dienst neemt en een verbinding vormt.