An apparatus for supplying a mixture of a treatment liquid and ozone for treatment of a surface of a workpiece, and a corresponding method are set forth. The preferred embodiment of the apparatus comprises a liquid supply line that is used to provide fluid communication between a reservoir containing the treatment liquid and a treatment chamber housing the workpiece. A heater is disposed to heat the workpiece, either directly or indirectly. Preferably, the workpiece is heated by heating the treatment liquid that is supplied to the workpiece. One or more nozzles accept the treatment liquid from the liquid supply line and spray it onto the surface of the workpiece while an ozone generator provides ozone into an environment containing the workpiece.

Ein Apparat für das Liefern einer Mischung einer Behandlungflüssigkeit und des Ozons für Behandlung einer Oberfläche eines Werkstückes und eine entsprechende Methode werden festgelegt. Die bevorzugte Verkörperung des Apparates enthält eine flüssige Versorgungslinie, die benutzt wird, um flüssige Kommunikation zwischen einem Vorratsbehälter, der die Behandlungflüssigkeit und enthalten einen Behandlungraum zur Verfügung zu stellen, die das Werkstück unterbringt. Eine Heizung wird abgeschaffen, um das Werkstück direkt oder indirekt zu heizen, entweder. Vorzugsweise wird das Werkstück durch das Heizen der Behandlungflüssigkeit geheizt, die an das Werkstück geliefert wird. Eine oder mehr Düsen nehmen die Behandlungflüssigkeit von der flüssigen Versorgungslinie an und sprühen sie auf die Oberfläche des Werkstückes, während ein Ozon-Generator Ozon in ein Klima zur Verfügung stellt, welches das Werkstück enthält.