Magnetic head having short pole yoke length and method for fabrication thereof

   
   

The induction coil of the magnetic head of the present invention is fabricated in a patterned electrical insulation material, preferably utilizing reactive ion etch (RIE) techniques. The electrical insulation material is particularly patterned such that it is formed away from the ABS surface and in the location of the induction coil. A fill layer is deposited around the patterned electrical insulation material layer, such that the fill layer is disposed at the ABS surface. In a preferred embodiment, the patterned electrical insulation material is initially fabricated from hard baked photoresist and subsequent to the deposition of the fill layer the hard baked photoresist material is removed and replaced by SiO.sub.2. The SiO.sub.2 is thereby located away from the ABS surface and the induction coil is subsequently fabricated within the SiO.sub.2 material.

De inductierol van het magnetische hoofd van de onderhavige uitvinding wordt vervaardigd in een gevormd elektroisolatiemateriaal, bij voorkeur gebruikend reactief ion ets de technieken (van RIE). Het elektroisolatiemateriaal is bijzonder gevormd dusdanig dat het vanaf de ABS oppervlakte en in de plaats van de inductierol wordt gevormd. Een vullingslaag wordt gedeponeerd rond de gevormde elektroisolatie materiƫle laag, dusdanig dat de vullingslaag wordt geschikt aan de ABS oppervlakte. In een aangewezen belichaming, wordt het gevormde elektroisolatiemateriaal aanvankelijk vervaardigd van harde gebakken photoresist en volgend op het deposito van de vullingslaag het harde gebakken photoresist materiaal verwijderd=wordt= en vervangen door SiO.sub.2. SiO.sub.2 wordt daardoor gevestigd vanaf de ABS oppervlakte en de inductierol wordt later vervaardigd binnen het materiaal SiO.sub.2.

 
Web www.patentalert.com

< Dual feed through cassette transfer apparatus

< Magnetic disc apparatus and its fabricating method

> Method for suppressing tribocharge in the assembly of magnetic heads

> Disc head slider having vertically contoured features and method of fabricating vertically contoured features on a slider

~ 00169