Disc head slider having vertically contoured features and method of fabricating vertically contoured features on a slider

   
   

A method of contouring a surface of a slider for supporting a transducer relative to a data storage medium includes applying a lithographic resist layer to the slider surface. The resist layer is then exposed through a single mask having 3a mask pattern defined by variation in an optical density through the mask. The resist layer is exposed in an exposure pattern corresponding to the mask pattern. Portions of the resist layer are removed as a function of the exposure pattern to produce a vertically contoured resist layer. The slider surface is etched through the vertically contoured resist layer during a single etching step to form a vertically contoured surface feature within the slider surface.

Метод контурить поверхность слайдера для поддерживать датчик по отношению к средству хранений данных вклюает прикладывать литографское сопротивляет слою к поверхности слайдера. Слой сопротивлять после этого подвергается действию через одиночную маску имея картину маски 3Јa быть определенным изменением в оптически плотности через маску. Слой сопротивлять подвергается действию в картину выдержки соответствуя к картине маски. Части вертикальн оконтуренного слоя сопротивлять извлечутся как функция картины выдержки для того чтобы произвести сопротивляют слою. Вертикальн оконтуренная поверхность слайдера вытравлена через сопротивляет слою во время одиночного шага вытравливания для того чтобы сформировать вертикальн оконтуренную поверхностную характеристику внутри поверхность слайдера.

 
Web www.patentalert.com

< Magnetic head having short pole yoke length and method for fabrication thereof

< Method for suppressing tribocharge in the assembly of magnetic heads

> Weld pads for head suspensions

> Head slider having piezoelectric actuator

~ 00169