A pattern inspection method and apparatus are disclosed, the method has the
steps of generating a reference digital image signal to be compared with a
detection digital image signal detected continuously from the desired
band-shaped inspection area on an object to be inspected, determining zero
or one or more candidate , matching positions between the detection
digital image signal and the reference digital image signal for each block
unit area sequentially cut out and calculating a mass of candidate
matching positions over the entire band-shaped inspection area,
determining an accurate matching position between the detection digital
image signal and the reference digital image signal for each block unit
area based on the continuity of the block unit areas from the calculated
mass of candidate matching positions over the entire band-shaped
inspection area, and determining a defect by matching the positions based
on the determined accurate matching position for each block unit area and
comparing the images.
Se divulgan un método y un aparato de la inspección del patrón, el método tiene los pasos de generar una señal de la imagen digital de la referencia de ser comparado con una señal de la imagen digital de la detección detectada continuamente del área venda-formada deseada de la inspección en un objeto que se examinará, de determinar cero o un o más candidato, de emparejar posiciones entre la señal de la imagen digital de la detección y la señal de la imagen digital de la referencia para cada área de unidad del bloque cortada secuencialmente y de calcular una masa de las posiciones que emparejan del candidato sobre el área venda-formada entera de la inspección, determinando una posición que empareja exacta entre la señal de la imagen digital de la detección y la señal de la imagen digital de la referencia para cada área de unidad del bloque basada en la continuidad de la unidad del bloque áreas de la masa calculada de las posiciones que emparejan del candidato sobre el área venda-formada entera de la inspección, y la determinación de un defecto emparejando las posiciones basadas en la posición que empareja exacta resuelta para cada área de unidad del bloque y comparando las imágenes.