In a low-pressure environment, a voltage is applied between a tool tip in
close proximity to a surface and that surface. Contaminants on the surface
are attracted and adhere to the tool. A laser may also be used for in situ
cleaning of components of a lithographic projection apparatus.
Dans un environnement à basse pression, une tension est appliquée entre une pointe dans la proximité étroite sur une surface et cette surface. Des contaminants sur la surface sont attirés et adhèrent à l'outil. Un laser peut également être utilisé pour le nettoyage in situ des composants d'un appareillage lithographique de projection.
