Electrostatic microactuator with electrically isolated movable portion and associated drive circuitry

   
   

A bidirectional electrostatic rotary microactuator has two sets of fixed electrodes, one set for driving the microactuator counterclockwise and the other set for driving it clockwise, and a rotatable frame that has movable electrodes attached to its outer wall and interleaved between the fixed electrodes. A layer of insulating material is located between the outer wall to which the movable electrodes are attached and the remainder of the frame so that the movable electrodes are electrically isolated. The frame is maintained at ground electrical potential and the movable electrodes at a fixed non-zero electrical potential. The microactuator is driven by applying a plus or minus voltage to one set of fixed electrodes and the opposite voltage to the other set, while maintaining the movable electrodes at a fixed non-zero voltage. The microactuator is usable as a secondary actuator in a disk drive for fine positioning the read/write head.

Um microactuator giratório eletrostático bidirectional tem dois jogos dos elétrodos fixos, um jogo para dirigir o microactuator no sentido anti-horário e o outro jogo para dirigi-lo no sentido horário, e um frame rotatable que tenha os elétrodos móveis unidos a sua parede exterior e intercalados entre os elétrodos fixos. Uma camada de material isolando é ficada situada entre a parede exterior a que os elétrodos móveis são unidos e o restante do frame de modo que os elétrodos móveis sejam isolados eletricamente. O frame é mantido no potencial elétrico à terra e nos elétrodos móveis em um potencial elétrico non-zero fixo. O microactuator é dirigido aplicando a mais ou menos a tensão a um jogo dos elétrodos fixos e a tensão oposta ao outro ajuste, ao manter os elétrodos móveis em uma tensão non-zero fixa. O microactuator é usable como um atuador secundário em uma movimentação de disco para a multa que posiciona a cabeça de leitura/gravação.

 
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< Tape drive with fan on take-up hub

< Recording tape cassette

> Magnetic read and write head with NiFeCo-O-N or NiFeCo-N shield and/or poles

> Magnetic head having high conductivity lead structures seeded by epitaxially matched seed layer

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