The invention includes polymers that contain a polymers of the invention
contain one or more 1) carbonate units and/or 2) a lactone provided by a
monomer having a ring oxygen adjacent to the monomer vinyl group. The
invention also provides photoresists that contain such polymers,
particularly for imaging at short wavelengths such as sub-200 nm.
De uitvinding omvat polymeren die polymeren van de uitvinding bevatten één of meerdere 1) carbonaateenheden en/of 2) lactone bevatten die door een monomeer wordt verstrekt dat een ringszuurstof naast de monomeer vinylgroep heeft. De uitvinding verstrekt ook photoresists die dergelijke polymeren, in het bijzonder voor weergave bij korte golflengten zoals sub-200 NM bevatten.
