A micro-electro mechanical (MEM) switch capable of inductively coupling and
decoupling electrical signals is described. The inductive MEM switch
consists of a first plurality of coils on a movable platform and a second
plurality of coils on a stationary platform or substrate, the coils on the
movable platform being above or below those in the stationary substrate.
Coupling and decoupling occurs by rotating or by laterally displacing the
coils of the movable platform with respect to the coils on the stationary
substrate. Diverse arrangements of coils respectively on the movable and
stationary substrates allow for a multi-pole and multi-position switching
configurations. The MEM switches described eliminate problems of stiction,
arcing and welding of the switch contacts. The MEMS switches of the
invention can be fabricated using standard CMOS techniques.
Een micro-elektro mechanische schakelaar (van MEM) geschikt om elektrosignalen wordt inductief te koppelen en los te koppelen beschreven. De aanleidinggevende schakelaar MEM bestaat uit een eerste meerderheid van rollen op een beweegbaar platform en een tweede meerderheid van rollen op een stationair platform of substraat, de rollen op het beweegbare platform dat boven of onder die in het stationaire substraat is. Het koppelen en het loskoppelen komen door te roteren of door de rollen van het beweegbare platform met betrekking tot de rollen op het stationaire substraat voor lateraal te verplaatsen. De diverse regelingen van rollen respectievelijk op de beweegbare en stationaire substraten staan voor de configuraties van een veelpolige en multi-positieomschakeling toe. De beschreven schakelaars MEM elimineren problemen van stiction, het een boog vormen en het lassen van de schakelaarcontacten. De schakelaars MEMS van de uitvinding kunnen worden vervaardigd gebruikend standaardcmos technieken.
