Laser oscillating apparatus, exposure apparatus using the same and device fabrication method

   
   

In a laser oscillating apparatus for exciting a laser gas in a laser tube by introducing an electromagnetic wave from a waveguide into the laser tube through a plurality of slots formed in a waveguide wall, and generating a laser beam by resonating light emitted from the laser gas, the slots are formed in a line such that their longitudinal direction is consistent with the longitudinal direction of the waveguide, and a metal wall is so formed as to surround these slots. This metal wall forms a gap as a microwave passage from the slots to a window in the laser tube wall, thereby spacing the laser tube wall apart from the slots by a predetermined distance.

Dans un appareillage d'oscillation de laser pour exciter un gaz de laser dans un tube de laser en présentant une onde électromagnétique d'un guide d'ondes dans le tube de laser par une pluralité de fentes a formé dans un mur de guide d'ondes, et produire d'un rayon laser par la lumière résonnante a émis du gaz de laser, les fentes sont formées dans une ligne tels que leur direction longitudinale est conformée à la direction longitudinale du guide d'ondes, et un mur en métal est ainsi formé quant à entourez ces fentes. Ce mur en métal forme un espace comme passage de micro-onde des fentes à une fenêtre dans le mur de tube de laser, espaçant de ce fait le mur de tube de laser indépendamment des fentes par une distance prédéterminée.

 
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