Illumination optical system in exposure apparatus

   
   

An illumination system for illuminating a surface by use of light from a light source. The system includes an emission angle conserving optical unit having a lens array, for receiving light from the light source, and a diffractive optical element for diffracting light to produce a desired light intensity distribution on a predetermined plane. The diffractive optical element is disposed at or adjacent to a position which is optically conjugate with a light exit surface of said emission angle conserving optical unit.

Un sistema de iluminación para iluminar una superficie por medio de la luz de una fuente de luz. El sistema incluye un ángulo de la emisión que conserva la unidad óptica que tiene un arsenal de la lente, para recibir la luz de la fuente de luz, y un elemento óptico difrangente para difractar la luz para producir una distribución deseada de la intensidad de luz en un plano predeterminado. El elemento óptico difrangente se dispone en o adyacente a una posición que sea ópticamente conyugal con una superficie ligera de la salida del ángulo dicho de la emisión que conserva la unidad óptica.

 
Web www.patentalert.com

< Mask having pattern areas whose transmission factors are different from each other

< Image forming apparatus and sheet processing apparatus with a serial connection

> Remanufacturing method for process cartridge

> Exposure apparatus, method of controlling same, and method of manufacturing devices

~ 00143