A method and system of TMAH concentration adjustment. Absorption values A1,
Y1 to Ym of a recycled developer solution at wavelength 210 nm and m
wavelengths between 220 nm and 250 nm are measured respectively, wherein m
is equal to or greater than 2. Y1 to Ym are input to an nth-degree
polynomial to generate a wavelength-absorption relationship Y=C.sub.1
X.sup.n + . . . +C.sub.n-1 X+C.sub.n, wherein X is wavelength, n is a
positive integer and C.sub.1 to C.sub.n are coefficients of the
relationship. Wavelength 210 nm is input into the wavelength-absorption
relationship to generate an absorption value Y.sub.210. A difference A3
between the A1 and Y.sub.210 is calculated as the absorption value of TMAH
in the developer solution and A3 is then input to an absorption
calibration curve of TMAH at 210 nm to generate a corresponding TMAH
concentration. TMAH is then added to provide the corresponding TMAH
concentration.
Une méthode et un système de l'ajustement de concentration de TMAH. L'absorption évalue A1, Y1 à Ym d'une solution révélatrice réutilisée à la longueur d'onde 210 des longueurs d'onde de nm et de m entre 220 nm et 250 nm sont mesurés respectivement, où m est égal à ou 2 plus grands que. Y1 à Ym sont entrés dans un polynôme de nième-degré pour produire d'un rapport Y=C.sub.1 d'longueur d'onde-absorption X.sup.n +. . . +C.sub.n-1 X+C.sub.n, où X est longueur d'onde, n est un nombre entier positif et C.sub.1 à C.sub.n sont des coefficients du rapport. La longueur d'onde 210 nm est entrée dans le rapport d'longueur d'onde-absorption pour produire d'une valeur Y.sub.210 d'absorption. Une différence A3 entre l'A1 et le Y.sub.210 est calculée comme valeur d'absorption de TMAH dans la solution révélatrice et A3 est alors entré dans une courbe d'étalonnage d'absorption de TMAH à 210 nm pour produire d'une concentration correspondante de TMAH. TMAH est alors ajouté pour fournir la concentration correspondante de TMAH.
