X-ray detector and method of fabricating the same

   
   

An X-ray sensing array substrate that includes a storage capacitor having first and second capacitor electrodes and a pixel electrode over the storage capacitor. One of the capacitor electrodes contacts a drain electrode of a thin film transistor through a first contact hole in an insulating layer. The pixel electrode contacts that capacitor electrode through a second contact hole through a second insulting layer. Therefore, the drain electrode is connected to the storage capacitor through only one contact, while the pixel electrode contacts the storage capacitor through only one contact. This reduces the drain electrode to capacitor resistance, reduces the voltage drop, and increases the sensitivity of the array.

Een X-ray ontdekkend seriesubstraat dat een opslagcondensator eerst en tweede condensatorelektroden en een pixelelektrode die over de opslagcondensator omvat hebben. Één van de condensatorelektroden contacteert een afvoerkanaalelektrode van een dunne filmtransistor door een eerste contactgat in een het isoleren laag. De contacten van de pixelelektrode die condensatorelektrode door een tweede contactgat door een tweede het beledigen laag. Daarom wordt de afvoerkanaalelektrode verbonden met de opslagcondensator door slechts één contact, terwijl de pixelelektrode de opslagcondensator door slechts één contact contacteert. Dit vermindert de afvoerkanaalelektrode tot condensatorweerstand, vermindert de voltagedaling, en verhoogt de gevoeligheid van de serie.

 
Web www.patentalert.com

< Charge amount detection circuit and two-dimensional image sensor using same

< Self triggered imaging device for imaging radiation

> Foot switch interface for operation of computer

> Amplifying solid-state imaging device, method for driving the same and physical quantity distribution sensing semiconductor device

~ 00134