A positive resist composition comprising (A) a resin, which increases a
solubility rate in an alkali developing solution by the action of an acid,
containing a repeating unit represented by formula (I) defined in the
specification, a repeating unit represented by formula (II) defined in the
specification and a repeating unit represented by formula (III) defined in
the specification, and (B) a compound that generates an acid upon
irradiation of an actinic ray or radiation.
Un positivo resiste la composición que abarca (a) una resina, que aumenta una tarifa de la solubilidad en un líquido de revelado del álcali en la acción de un ácido, conteniendo una unidad de repetición representada por el fórmula (i) definido en la especificación, una unidad de repetición representada por el fórmula (ii) definido en la especificación y una unidad de repetición representada por el fórmula (iii) definido en la especificación, y (b) un compuesto que genere un ácido sobre la irradiación de un rayo o de una radiación actínico.
