A method of analyzing a MEMS device having micromirrors. A laser is
targeted on one or more mirror elements and used to remove only the
mirror. Once the mirror is removed, the underlying structure can be
observed in operation, measured, elementally analyzed, or undergo other
types of analysis.
Μια μέθοδος μια συσκευή MEMS που έχει τα micromirrors. Ένα λέιζερ στοχεύει σε ένα ή περισσότερα στοιχεία καθρεφτών και χρησιμοποιείται για να αφαιρέσει μόνο τον καθρέφτη. Μόλις αφαιρεθεί ο καθρέφτης, η ελλοχεύουσα δομή μπορεί να παρατηρηθεί σε λειτουργία, που μετριέται, που αναλύεται elementally, ή να υποβληθεί σε άλλους τύπους αναλύσεων.
