An image sensor system and methods of making such a system are described.
The image sensor system includes a color filter array that is formed by a
color filter process that incorporates a bottom antireflection coating.
The bottom antireflection coating forms a protective layer that protects
exposed areas of the active image sensing device structure during
formation of the color filter array and, thereby, preserves the intrinsic
transmission characteristics of the active image sensing device structure.
The bottom antireflection coating also reduces degradation of metal
structures (e.g., bonding pads) and pixel edges at the exposed surface of
the active image sensing device structure. In addition, the bottom
antireflection coating provides a reliable adhesive surface for the color
filter array, substantially eliminating lifting of the color filter array
resist structures. In some embodiments, the bottom antireflection coating
also improves the optical transmission characteristics of one or more
colors of the colors filter array.
Un sistema del sensor de la imagen y los métodos de hacer tal sistema se describen. El sistema del sensor de la imagen incluye un arsenal del filtro del color que sea formado por un procedimiento de filtrado del color que incorpore una capa inferior de los antireflejos. Las formas de capa de los antireflejos inferiores a la capa protectora que protege áreas expuestas de la estructura activa del dispositivo de detección de la imagen durante la formación del arsenal del filtro del color y, de tal modo, preserva las características intrínsecas de la transmisión de la estructura activa del dispositivo de detección de la imagen. Los antireflejos inferiores que cubren también reducen la degradación de las estructuras del metal (e.g., cojines de vinculación) y de los bordes del pixel en la superficie expuesta de la estructura activa del dispositivo de detección de la imagen. Además, la capa inferior de los antireflejos proporciona una superficie adhesiva confiable para el arsenal del filtro del color, eliminando substancialmente la elevación del arsenal del filtro del color resiste las estructuras. En algunas encarnaciones, los antireflejos inferiores que cubren también mejoran las características ópticas de la transmisión de unos o más colores de los colores filtran arsenal.
