A method and an apparatus are provided for adjusting a sampling rate based
on a state estimation result. The method comprises receiving metrology
data associated with processing of workpieces, estimating a next process
state based on at least a portion of the metrology data and determining an
error value associated with the estimated next process state. The method
further comprises processing a plurality of workpieces based on the
estimated next process state and adjusting a sampling protocol of the
processed workpieces that are to be measured based on the determined error
value.
Une méthode et un appareil sont donnés pour ajuster un taux de prélèvement basé sur un résultat d'évaluation d'état. La méthode comporte recevoir des données de métrologie liées au traitement des objets, à estimer un prochain état de processus basé sur au moins une partie des données de métrologie et à déterminer une valeur d'erreur liée au prochain état de processus estimé. La méthode autre comporte traiter une pluralité d'objets basés sur le prochain état de processus estimé et l'ajustement d'un protocole de prélèvement des objets traités qui doivent pour être mesuré a basé sur la valeur déterminée d'erreur.
