An electron beam applied from an electron gun 1 and reflected off a surface
of a specimen 7 placed on a stage 2 that is tilted at a tilt angle .phi.=0
is detected, and a signal intensity thereof is measured by an electron
detector 3. Based upon the measurement, an image processing unit 6
calculates a slope angle .theta. of the surface of the specimen, and
determines candidates for cross-sectional shape of the specimen. Signal
intensity of the electromagnetic wave that would be reflected from a
surface having a cross-sectional shape of each of the candidates if the
tilt angle .phi. were changed into .phi.=.phi..sub.0 are estimated, and
compared with a signal intensity actually measured by the electron
detector 3 with the tilt angle 100 being changed into .phi.=.phi..sub.0.
Consequently, cross sectional shape and three-dimensional shape can be
determined based upon a result of comparison, without utilizing a matching
process of feature points.
Электронный луч применился от пушки 1 электрона и отразился с поверхности образца 7 помещенного на этапе 2 опрокинут на phi.=0 угла наклона обнаружен, и интенсивность сигнала thereof измерена детектором электрона 3. Я основан на измерении, блок 6 обработкаа изображений высчитывает theta угла наклона. поверхности образца, и обусловливает выбранные для профильной формы образца. Просигнализируйте интенсивность электромагнитной волны была бы отражена от поверхности имея профильную форму каждого из выбранных если phi. угла наклона было изменено в phi.=.phi..sub.0 оценено, и сравнено при интенсивность сигнала фактическ измеренная детектором электрона 3 при угол 100 наклона будучи изменянным в phi.=.phi..sub.0. Следовательно, cross sectional форму и трехмерную форму можно обусловить основали на результате сравнения, без использовать сопрягая процесс характеристики указывают.
