A cleaning end point detecting apparatus detects an end point of a cleaning
process in which contamination attached to an inner wall of a reaction
chamber is removed by introducing a cleaning gas into the chamber to
produce a cluster cloud and detached particles. An irradiating unit
irradiates a laser beam onto the cluster cloud and the detached particles
within the reaction chamber to produce a scattered laser beam. A
monitoring unit monitors the scattered laser beam as a two-dimensional
image information. A judging unit judges the end point of the cleaning
process on the basis of the two-dimensional image information. Preferably,
the judging unit judges, as the end point of the cleaning process, a time
instant when neither the detached particles nor the cluster cloud are
detected on the basis of the two-dimensional image information.
Ένα τελικό σημείο καθαρισμού που ανιχνεύει τις συσκευές ανιχνεύει ένα τελικό σημείο μιας διαδικασίας καθαρισμού στην οποία η μόλυνση που συνδέεται με έναν εσωτερικό τοίχο μιας αίθουσας αντίδρασης αφαιρείται με την εισαγωγή ενός καθαρισμού αέριο στην αίθουσα για να παραγάγει ένα σύννεφο συστάδων και αποσυνδεμένα μόρια. Μια ακτινοβολώντας μονάδα ακτινοβολεί μια ακτίνα λέιζερ επάνω στο σύννεφο συστάδων και τα αποσυνδεμένα μόρια μέσα στην αίθουσα αντίδρασης για να παραγάγει μια διεσπαρμένη ακτίνα λέιζερ. Μια μονάδα ελέγχου ελέγχει τη διεσπαρμένη ακτίνα λέιζερ ως δισδιάστατες πληροφορίες εικόνας. Μια κρίνοντας μονάδα κρίνει το τελικό σημείο της διαδικασίας καθαρισμού βάσει των δισδιάστατων πληροφοριών εικόνας. Κατά προτίμηση, η κρίνοντας μονάδα κρίνει, ως τελικό σημείο της διαδικασίας καθαρισμού, μια χρονική στιγμή όταν ούτε δεν ανιχνεύονται τα αποσυνδεμένα μόρια ούτε το σύννεφο συστάδων βάσει των δισδιάστατων πληροφοριών εικόνας.
