A semiconductor processing system for wafers or other semiconductor
articles. The system uses an interface section at an end of the machine
accessible from the clean room. A plurality of processing stations are
arranged away from the clean room interface. A transfer subsystem removes
wafers from supporting carriers, and positions both the wafers and
carriers onto a carrousel which is used as an inventory storage. Wafers
are shuttled between the inventory and processing stations by a robotic
conveyor which is oriented to move toward and away from the interface end.
The system processes the wafers without wafer carriers.
Un système de traitement de semi-conducteur pour des gaufrettes ou d'autres articles de semi-conducteur. Le système emploie une section d'interface à une extrémité de la machine accessible de la salle propre. Une pluralité de traiter des stations sont arrangées loin de l'interface de pièce propre. Un sous-ensemble de transfert enlève des gaufrettes des porteurs de support, et place les gaufrettes et des porteurs sur un carrousel qui est utilisé comme stockage de inventaire. Des gaufrettes sont faites la navette entre le inventaire et des stations de traitement par un convoyeur robotique vers lequel est orienté à l'éloigner et de l'extrémité d'interface. Le système traite les gaufrettes sans porteurs de gaufrette.
