In a method and an apparatus for generating X-ray or EUV radiation, an
electron beam is brought to interact with a propagating target jet,
typically in a vacuum chamber. The target jet is formed by urging a liquid
substance under pressure through an outlet opening. Hard X-ray radiation
may be generated by converting the electron-beam energy to Bremsstrahlung
and characteristic line emission, essentially without heating the jet to a
plasma-forming temperature. Soft X-ray or EUV radiation may be generated
by the electron beam heating the jet to a plasma-forming temperature.
In een methode en een apparaat om Röntgenstraal of straling te produceren EUV, wordt een elektronenstraal gebracht om met een het verspreiden zich doelstraal, typisch in een vacuümkamer in wisselwerking te staan. De doelstraal wordt gevormd door een vloeibare substantie onder druk aan te sporen door afzet het openen. De harde X-ray straling kan worden geproduceerd door de elektron-straal energie in Remstraling en kenmerkende lijnemissie, om te zetten hoofdzakelijk zonder de straal aan een plasma-zichvormende temperatuur te verwarmen. De zachte Röntgenstraal of de straling EUV kan door de elektronenstraal worden geproduceerd verwarmend de straal aan een plasma-zichvormende temperatuur.
