An I/O minienvirornent including a port door within an I/O port, and a
system for removing the port door and pod door coupled thereto, and
setting down the pod and port doors at a convenient location within the
I/O minienvironment. After wafer processing has been completed and the
wafers have been transferred back through the I/O port to the SMEF pod,
the system may retrieve the port and pod doors, and return the port door
to their sealing positions within the I/O port and cassette, respectively.
In a preferred embodiment, the system for gripping and transporting the
port and pod doors may be located on the back end of the end effector of
the wafer handling robot within the I/O minienvironment. The back end of
the end effector is the end of the end effector opposite that used to
transport the wafers and/or cassette.
Un I/O minienvirornent incluyendo una puerta portuaria dentro de un puerto de I/O, y un sistema para quitar la puerta portuaria y la puerta de la vaina juntadas además, y establecer las puertas de la vaina y del puerto en una localización conveniente dentro del minienvironment de I/O. Después de que se haya terminado el proceso de la oblea y las obleas se han transferido detrás a través del puerto de I/O a la vaina de SMEF, el sistema puede recuperar las puertas del puerto y de la vaina, y vuelve la puerta portuaria a sus posiciones del lacre dentro del puerto y del cassette de I/O, respectivamente. En una encarnación preferida, el sistema para agarrar y transportar las puertas del puerto y de la vaina se puede situar en el extremo trasero del extremo effector de la oblea que maneja la robusteza dentro del minienvironment de I/O. El extremo trasero del extremo effector es el extremo del extremo effector enfrente de ése usado para transportar las obleas y/o el cassette.
