A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting
the stored state of thin substrates and an inspection method for thin
substrate capable of accurately detecting the stored state of thin
substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for
detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage
cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the
storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the
robot.
Un robot de transfert (5) pour le substrat mince capable de détecter efficacement l'état stocké de substrats minces et une méthode d'inspection pour le substrat mince capable de détecter exactement l'état stocké de substrats minces ; le robot (5), comportant un appareil-photo d'inspection (1) pour détecter l'état stocké des substrats minces (3) dans une cassette de stockage (2), où la pluralité de substrats minces (3) stockés dans la cassette de stockage (2) sont effectuées de la cassette de stockage (2) par le robot.
