The present invention generally provides an apparatus and a method for
inspecting a substrate in a processing system. In one aspect, a light
source is used in conjunction with an optical receiving device, such as a
spectrometer, to illuminate and inspect a substrate for various optical
signatures. In one embodiment, spectral data collected from a given
substrate is used to generate a spectral signature. The spectral signature
represents the intensity distribution of the color sonstituents of a
substrate surface. This color signature may then be compared to a
reference color signature to determine characteristics such as the
substrate type, thickness, conformity, substrate surface uniformity, and
residual materials in processing.
A invenção atual fornece geralmente um instrumento e um método inspecionando uma carcaça em um sistema processando. Em um aspecto, uma fonte clara é usada conjuntamente com um dispositivo de recepção ótico, tal como um spectrometer, iluminar e inspecionar uma carcaça para várias assinaturas óticas. Em uma incorporação, os dados spectral coletados de uma carcaça dada são usados gerar uma assinatura spectral. A assinatura spectral representa a distribuição da intensidade dos sonstituents da cor de uma superfície da carcaça. Esta assinatura da cor pode então ser comparada a uma assinatura da cor da referência para determinar características tais como o tipo da carcaça, a espessura, o conformity, a uniformidade de superfície da carcaça, e os materiais residuais em processar.
