Optical element with alignment mark, and optical system having such optical element

   
   

A diffractive optical element having a design wavelength .lambda., includes a diffractive surface for diffracting predetermined light corresponding to the design wavelength, and a mark shaped so that, with regard to the predetermined light, a phase difference corresponding to a multiple, by an integer, of the design wavelength .lambda. is produced between (i) a light ray, of the predetermined light, as transmitted through or reflected by the mark and (ii) a light ray, of the predetermined light, as transmitted through or reflected by a portion adjacent to the mark, and that, with regard to second light of a second wavelength .lambda.' different from the design wavelength .lambda., no phase difference corresponding to a multiple, by an integer, of the second wavelength .lambda. is produced between (a) a light ray, of the second light, as transmitted through or reflected by the mark and (b) a light ray, of the second light, as transmitted through or reflected by a portion adjacent to the mark.

Ein diffractive optisches Element, das ein Designwellenlänge lambda. hat, schließt eine diffractive Oberfläche für das Beugen des vorbestimmten Lichtes ein, das der Designwellenlänge entspricht, und eine Markierung, die damit, hinsichtlich des vorbestimmten Lichtes, eine Phasendifferenz geformt wird, die einer Mehrfachverbindungsstelle, durch eine Ganzzahl, des Designwellenlänge lambda entspricht. wird zwischen (i) einem hellen Strahl, des vorbestimmten Lichtes produziert, wie durch übertragen oder durch die Markierung reflektiert und (ii) einem hellen Strahl, des vorbestimmten Lichtes, wie durch übertragen oder durch einen Teil neben der Markierung und dem, hinsichtlich des zweiten Lichtes eines zweiten Wellenlänge lambda reflektiert.' unterschiedlich zu dem Designwellenlänge lambda., keine Phasendifferenz, die einer Mehrfachverbindungsstelle, durch eine Ganzzahl, des zweiten Wellenlänge lambda entspricht. wird zwischen (a) einem hellen Strahl, des zweiten Lichtes produziert, wie durch übertragen oder durch die Markierung reflektiert und (b) einem hellen Strahl, des zweiten Lichtes, wie durch übertragen oder durch einen Teil neben der Markierung reflektiert.

 
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< Method and system for authenticating user and providing service

< Camera operation apparatus

> Scanning exposure method and apparatus, and device manufacturing method using the same

> Image forming system, image forming apparatus, control method thereof, image forming method, and storage medium

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