A vacuum processing method and apparatus processing units for conducting
processing, a transfer processing unit connected with the plurality of
processing units for carrying wafers, and a control unit for controlling
the processing units. A processing order information storing device stores
a processing order of the wafers for the processing units, an operational
information signal generating device generates an operational information
signal indicating an operable or inoperable state of each of the
processing units, an operational information signal storing device stores
the operational information signal indicating the state of each of the
processing units, and a control device matches and processes the
processing order information and the operational information signal, and
continues operation without using an inoperable processing unit while
using other operable processing units.
Μια κενή μέθοδος επεξεργασίας και οι μονάδες επεξεργασίας συσκευών για τη διεύθυνση της επεξεργασίας, μια μονάδα επεξεργασίας μεταφοράς σύνδεσαν με την πολλαπλότητα των μονάδων επεξεργασίας για τη μεταφορά των γκοφρετών, και μια μονάδα ελέγχου για τον έλεγχο των μονάδων επεξεργασίας. Πληροφορίες διαταγής επεξεργασίας που αποθηκεύουν τη συσκευή αποθηκεύουν μια διαταγή επεξεργασίας των γκοφρετών για τις μονάδες επεξεργασίας, ένα λειτουργικό σήμα πληροφοριών που παράγει τη συσκευή παράγει ένα λειτουργικό σήμα πληροφοριών που δείχνει μια λειτουργική ή μη επιδεχόμενη χειρουργική επέμβαση κατάσταση κάθε μια από τις μονάδες επεξεργασίας, ένα λειτουργικό σήμα πληροφοριών αποθηκεύοντας τα καταστήματα συσκευών το λειτουργικό σήμα πληροφοριών που δείχνει την κατάσταση κάθε μια από τις μονάδες επεξεργασίας, και τις αντιστοιχίες και τις διαδικασίες ελέγχου συσκευών οι πληροφορίες διαταγής επεξεργασίας και το λειτουργικό σήμα πληροφοριών, και συνεχίζει τη λειτουργία χωρίς χρησιμοποίηση μιας μη επιδεχόμενης χειρουργική επέμβαση μονάδας επεξεργασίας χρησιμοποιώντας άλλες λειτουργικές μονάδες επεξεργασίας.
