Trace impurities such as organic compounds and carbon monoxide are reduced
to sub-ppb levels in gases such as nitrogen, helium and argon, by gas
purifying systems that contain an ultra-low emission (ULE) carbon
material. Ultra-low emission (ULE) carbon materials is capable of removing
impurities from a gas stream down to parts-per-billion (ppb) and sub-ppb
levels without concurrently emitting other impurities such as moisture or
carbon dioxide to the purified gas stream. The carbon material is
superactivated by heating the carbon to temperatures between
300-800.degree. C. in an ultra-dry, inert gas stream. The ultra-low
emission (ULE) carbon material is handled and stored in an environment
that minimizes contamination from moisture and other oxygenated species in
order to maintain its ppb and sub-ppb impurity removal and low emission
properties.
Примеси следа such as органические смеси и окись углерода уменьшены к sub-ppb-ppb уровням в газах such as азот, гелий и аргон, системами очищать газа которые содержат ультра-nizki1 материал углерода излучения (ULE). Ультра-nizkie материалы углерода излучения (ULE) способны извлекать примеси от вплоть газового потока до част-в-миллиард (ppb) и sub-ppb-ppb уровни без одновременно испускать другие примеси such as двуокись влаги или углерода к очищенному газовому потоку. Материал углерода superactivated путем нагревать углерод к температурам между 300-800.degree. C в потоке ультра-suxogo, инертного газа. Ультра-nizki1 материал углерода излучения (ULE) отрегулирован и сохранен в окружающей среде уменьшает загрязнение от влаги и другого оксигенированного вида для поддержания своих ppb и sub-ppb-ppb свойств удаления примеси и низких излучения.
