In a gas laser device, a compensation time according to electric charges
accumulated in a charging capacitor is calculated and, when the
compensation time lapsed from a time when an outer trigger was input, a
compensation trigger is output to a semiconductor switch to electrically
connect the charging capacitor and a first-stage capacitor, whereby a time
between the input of the outer trigger and the occurrence of light
emission across discharge electrodes becomes constant in each pulse and a
semiconductor substrate can be exposed to light with higher accuracy even
when any components of a pulse power source are affected by a temperature
change.
En un dispositivo del laser del gas, un rato de la remuneración según las cargas eléctricas acumuladas en un condensador de carga se calcula y, cuando el tiempo de la remuneración caducó a partir de una época en que un disparador externo fue entrado, un disparador de la remuneración se hace salir a un interruptor del semiconductor para conectar eléctricamente el condensador de carga y un condensador de primera planta, por el que una época entre la entrada del disparador externo y la ocurrencia de la emisión ligera a través de los electrodos de la descarga llegue a ser constante en cada pulso y un substrato del semiconductor se pueda exponer a la luz con una exactitud más alta incluso cuando cualquier componente de una fuente de energía del pulso es afectado por un cambio de temperatura.
