A cluster device having a dual structure includes: a substrate storage
containing a plurality of substrates, the substrate storage having an ATM
robot that moves said substrates; a first cluster including a first
transfer chamber having a vacuum robot, a plurality of first process
chambers connected to the first transfer chamber, and a first load lock
chamber connected to both the substrate storage and the first transfer
chamber; a second cluster including a second transfer chamber under the
first transfer chamber, a plurality of second process chambers connected
to the second transfer chamber, each of the plurality of second process
chambers positioned between the two first process chambers, and a second
load lock chamber connected to both the substrate storage and the second
transfer chamber.
Приспособление группы имея двойную структуру вклюает: хранение субстрата содержа множественность субстратов, хранение субстрата имея робот atm который двигает сказанные субстраты; первая группа включая первую камеру перехода имея робот вакуума, множественность первых камер процесса соединенных к первой камере перехода, и первой шлюзной камере нагрузки соединенной как к хранению субстрата так и к первой камере перехода; вторая группа включая вторую камеру перехода под первой камерой перехода, множественность вторых камер процесса соединилась к второй камере перехода, каждой из множественности вторых камер процесса расположенных между 2 первыми камерами процесса, и второй шлюзной камере нагрузки соединенной как к хранению субстрата так и к второй камере перехода.
