The amplification of target overlay errors of interleaved arrays in
semiconductor fabrication is achieved by calculating the synthesized beat
signal on a set of targets that are imaged using conventional microscopy
and measured using a geometrical image processing algorithm. The
interleaved arrays have differing periodicities resulting in a phase
shift. The difference in periodicity distinguishes the arrays and
amplifies the sensitivity to the overlay error. The phase-shift ensures
that the elements of the arrays are interleaved and not overlapped. The
beat signal has a zero crossing location that is proportional to the
overlay error between the interleaved arrays, with a proportionality
constant much greater than one. The overlay error is amplified by this
proportionality constant.
In an alternative embodiment, the geometrical image processing algorithm is
first digitally filtered prior to obtaining the overlay error. This
spatial filtering allows for noise suppression. A bandpass filter
algorithm is employed to eliminate all frequencies other than the
fundamental spatial frequencies of the arrays from the remainder of the
overlay error calculation.
O amplification de erros da folha de prova do alvo de disposições intercaladas na fabricação do semicondutor é conseguido calculando o sinal synthesized da batida em um jogo dos alvos que são imaged usando o microscopy convencional e medido usar um algoritmo geométrico processar de imagem. As disposições intercaladas têm periodicities diferindo tendo por resultado um deslocamento de fase. A diferença no periodicity distingue as disposições e amplifica a sensibilidade ao erro da folha de prova. O phase-shift assegura-se de que os elementos das disposições estejam intercalados e não sobrepostos. O sinal da batida tem uma posição do cruzamento zero que seja proporcional ao erro da folha de prova entre as disposições intercaladas, com uma constante muito mais extremamente de uma do proportionality. O erro da folha de prova é amplificado por esta constante do proportionality. Em uma incorporação alternativa, o algoritmo geométrico processar de imagem é primeiro filtrado digital antes de obter o erro da folha de prova. Este filtrar spatial permite a supressão do ruído. Um algoritmo bandpass do filtro é empregado para eliminar todas as freqüências à excepção das freqüências spatial fundamentais das disposições do restante do cálculo do erro da folha de prova.
