A method for preventing process errors in a semiconductor fabricating
process allows only a few authorized engineers to release interlocks of
semiconductor fabricating equipment when a count of interlock occurrences
exceeds a predetermined number within a predetermined period of time. By
allowing a semiconductor fabricating equipment operator only limited
ability to reset equipment interlocks, repeated interlock conditions
caused by test specification failures may be over-ridden only a
predetermined number of times before the semiconductor fabricating
equipment is disabled completely. The disabled semiconductor fabricating
equipment may only be re-enabled using an authorization code, which is
only made available to selected personnel, thereby ensuring that necessary
repairs and corrections have been implemented on the semiconductor
fabricating equipment.
Метод для предотвращать отростчатые ошибки в процессе полупроводника изготовляя позволяет только несколько утверженным инженерам выпустить блокировки оборудования полупроводника изготовляя когда отсчет возникновений блокировки превышает предопределенный номер в пределах предопределенного периода времени. Путем позволять оператору оборудования полупроводника изготовляя только ограничил способность переустановить блокировки оборудования, повторные условия блокировки причиненные отказами спецификации испытания смогите отвергнуться только предопределенному количеству времен прежде чем оборудование полупроводника изготовляя будет выведено из строя вполне. Оборудование неработающего полупроводника изготовляя может только быт6$ет-позволено использующ Кодего утверждения, которое только сделано имеющимся к выбранному персоналу, таким образом обеспечивая что обязательно ремонты и коррекции были снабжены на оборудовании полупроводника изготовляя.
