A MEMS sensor packaged with an integrated circuit includes switches and
control circuitry. In a test mode, the control circuitry causes the
switches to turn off and on such that the first and second capacitance of
the MEMS sensor can be monitored individually. During a normal mode of
operation, the switches are maintained such that the MEMS sensor packaged
with the integrated circuit operates to produce a filtered and trimmed
output reflecting the sensed phenomena.
Un sensore di MEMS impaccato con un circuito integrato include gli interruttori ed i circuiti di controllo. In un modo della prova, i circuiti di controllo inducono gli interruttori a spegnere e su tali che la prima e seconda capacità del sensore di MEMS può essere controllata individualmente. Durante il modo di funzionamento normale, gli interruttori sono effettuati tali che il sensore di MEMS impaccato con il circuito integrato funziona per produrre un'uscita filtrata ed assettata che riflette i fenomeni percepiti.
