An adsorbent, method, and apparatus involving same for the removal of
moisture from a fluoride-containing fluid such as gaseous nitrogen
trifluoride are disclosed herein. In certain preferred embodiments, the
adsorbent of the present invention comprises an organic support having a
porosity of 30% or greater and a pore size of 2 .mu.m or less; and at
least one metal fluoride disposed within at least a portion of the organic
substrate.
Ένα προσροφητικό, μια μέθοδος, και μια συσκευή που περιλαμβάνει το ίδιο πράγμα για την αφαίρεση της υγρασίας από ένα fluoride-containing ρευστό όπως αεριώδες trifluoride αζώτου αποκαλύπτονται εν τω παρόντι. Σε ορισμένες προτιμημένες ενσωματώσεις, το προσροφητικό της παρούσας εφεύρεσης περιλαμβάνει μια οργανική υποστήριξη που έχει ένα πορώδες 30% ή μεγαλύτερος και ένα μέγεθος πόρων του μu.μ 2 ή λιγότεροι και τουλάχιστον ένα φθορίδιο μετάλλων που διατίθεται μέσα τουλάχιστον σε μια μερίδα του οργανικού υποστρώματος.
