A decoupling capacitor is provided for a semiconductor device and may include a first low dielectric insulator layer and a low resistance conductor formed into at least two interdigitized patterns on the surface of the first low dielectric insulator in a single interconnect plane. A high dielectric constant material may be provided between the two patterns. A circuit for testing a plurality of these capacitors is also provided which includes a charge monitoring circuit, a coupling circuit and a control circuit.

Decoupling конденсатор обеспечен для прибора на полупроводниках и может включить первый низкий диэлектрический слой изолятора и низкий проводник сопротивления сформированный в по крайней мере 2 interdigitized картины на поверхности первого низкого диэлектрического изолятора в плоскости одиночное interconnect. Высокий материал диэлектрической константы может быть обеспечен между 2 картинами. Цепь для испытывать множественность этих конденсаторов также обеспечена вклюает цепь обязанности контролируя, цепь соединения и цепь управления.