In order to easily and accurately manufacture a micromachine comprising a
member which is made of a single-crystalline material and having a
complicated structure, an uppermost layer (1104) of a single-crystalline
Si substrate (1102) whose (100) plane is upwardly directed is irradiated
with Ne atom currents from a plurality of prescribed directions, so that
the crystal orientation of the uppermost layer (1104) is converted to such
orientation that the (111) plane is upwardly directed. A masking member
(106) is employed as a shielding member to anisotropically etch the
substrate (1102) from its bottom surface, thereby forming a V-shaped
groove (1112). At this time, the uppermost layer (1104) serves as an
etching stopper. Thus, it is possible to easily manufacture a micromachine
having a single-crystalline diaphragm having a uniform thickness. A
micromachine having a complicated member such as a diagram which is made
of a single-crystalline material can be easily manufactured through no
junction.
Fabriquez facilement et exactement un micromachine comportant un membre qui est fait en matériel simple-cristallin et avoir une structure compliquée, une couche la plus élevée (1104) d'un substrat simple-cristallin de silicium (les 1102) dont (100) avions sont vers le haut dirigés sont irradiés avec des courants d'atome de Ne d'une pluralité de directions prescrites, de sorte que l'orientation en cristal de la couche la plus élevée (1104) soit convertie en une telle orientation que (les 111) avions sont vers le haut dirigés. Un membre masquant (106) est employé pendant qu'un membre d'armature pour graver à l'eau-forte anisotropically le substrat (1102) de son fond, formant de ce fait une cannelure en forme de V (1112). Actuellement, la couche la plus élevée (1104) sert de taquet gravure à l'eau-forte. Ainsi, il est possible de fabriquer facilement un micromachine ayant un diaphragme simple-cristallin avoir une épaisseur uniforme. Un micromachine ayant un membre compliqué tel qu'un diagramme qui est fait d'un matériel simple-cristallin peut être facilement fabriqué par aucune jonction.
