Generally a method and apparatus for viewing images within a processing system is provided. In one embodiment, an apparatus includes a plate having a camera, transmitter and battery coupled thereto. The plate is adapted to be transported about a semiconductor processing system by a substrate transfer robot thereby allowing images within the system to be viewed remotely from the system. The viewed images may be used for system inspection and calibration of robot position, among other uses.

Вообще обеспечены метод и прибор для изображений viewing внутри системы обработки. В одно воплощение, прибор вклюает плиту имея камеру, передатчик и батарею быть соединенным к тому. Плита приспособлена быть транспортированным о системы обработки полупроводника роботом переноса субстрата таким образом позволяя изображения внутри система быть осмотренным дистанционно от системы. Осмотренные изображения могут быть использованы для осмотра системы и тарировки положения робота, среди других польз.