An improved conveyor system (20) for transporting a microelectronic workpiece (w) within a processing tool (14, 16) is set forth. The conveyor system (20) includes a transport unit (30, 32) slidably guided on a conveyor rail (26) for transporting and manipulating the workpiece (w). The transport unit (30, 32) includes a vertical member (220) which is connected to a base end of a two section robot arm (100). The robot arm (100) includes an end effector (108) at a distal end thereof which is actuated to grip a surrounding edge of a workpiece (w). A first rotary actuator (200) is arranged to rotate the vertical member (220) about its axis to rotate the entire robot arm (100). A second rotary actuator (240) is positioned to rotate the second section (114) of the robot arm (100), via a belt, with respect to the first section (110) of the robot arm (100). A third rotary actuator (302) is arranged to rotate the end effector (108) about its horizontal axis. The third rotary actuator (302) permits the end effector (108) to flip the microelectronic workpiece (w) between a face up and a face down orientation.

Um sistema melhorado do transporte (20) para transportar um workpiece microelectronic (w) dentro de uma ferramenta processando (14, 16) é determinado. O sistema do transporte (20) inclui uma unidade do transporte (30, 32) guiada slidably em um trilho do transporte (26) para transportar e manipular o workpiece (w). A unidade do transporte (30, 32) inclui um membro vertical (220) que sejam conectados a uma extremidade baixa de um braço do robô de duas seções (100). O braço do robô (100) inclui uma extremidade effector (108) em uma extremidade distal disso que seja atuada para prender uma borda circunvizinha de um workpiece (w). Um primeiro atuador giratório (200) é arranjado para girar o membro vertical (220) sobre sua linha central para girar o braço inteiro do robô (100). Um segundo atuador giratório (240) é posicionado para girar a segunda seção (114) do braço do robô (100), através de uma correia, com respeito à primeira seção (110) do braço do robô (100). Um terceiro atuador giratório (302) é arranjado para girar a extremidade effector (108) sobre sua linha central horizontal. O terceiro atuador giratório (302) permite a extremidade effector (108) lançar para baixo o workpiece microelectronic (w) entre uma orientação de face para cima e da cara.