A lift and rotate assembly for use in a workpiece processing station. The lift and rotate assembly includes a body having a slim profile and pins located on opposite sides for mounting the assembly onto a tool frame. The lift and rotate assembly is removably and pivotally mounted to an exposed outer surface of the frame. The lift and rotate assembly has a body, a process head movably connected to the body, and control components mounted within the body and configured to move the process head relative to the body. The lift and rotate assembly in one embodiment is positionable in a forward, operating position with the body adjacent to the frame, and in a tilted, service position with the body tilted away from the frame.

Un elevatore e ruota il complessivo per uso in un pezzo in lavorazione che procede la stazione. L'elevatore e ruota il complessivo include un corpo che ha un profilo sottile e perni posizionati dai lati opposti per il montaggio del complessivo su una struttura dell'attrezzo. L'elevatore e ruota il complessivo smontabile e come un perno è montato ad una superficie esterna esposta del telaio. L'elevatore e ruota il complessivo fa collegare un corpo, una testa trattata mobile al corpo ed i componenti di controllo essere montato all'interno del corpo ed essere configurato per spostare la testa trattata riguardante il corpo. L'elevatore e ruota il complessivo in un incorporamento è positionable in una posizione di andata e di funzionamento con il corpo adiacente alla struttura ed in un'inclinata in, posizione di servizio con il corpo inclinato via dalla struttura.

 
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> Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism

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