A lift/tilt assembly for use in a semiconductor wafer processing device is set forth. The lift/tilt assembly includes a linear guide comprising a fixed frame and a moveable frame. A nest for accepting a plurality of semiconductor wafers is rotatably connected to the moveable frame. The nest rotates between a wafer-horizontal orientation and a wafer-vertical orientation as it is driven with the movable frame by a motor that is coupled to the linear way. A lever connected to the nest provides an offset from true vertical for the nest when the nest is in the wafer-vertical orientation.

Disponen a una asamblea de lift/tilt para el uso en una oblea de semiconductor que procesa el dispositivo. La asamblea de lift/tilt incluye una guía linear que abarca un marco fijo y un marco movible. Una jerarquía para aceptar una pluralidad de obleas de semiconductor está conectada rotativo con el marco movible. La jerarquía rota entre una orientación oblea-horizontal y una orientación oblea-vertical mientras que es conducida con el marco movible por un motor que se junte a la manera linear. Una palanca conectada con la jerarquía proporciona una compensación de la vertical verdadera para la jerarquía cuando la jerarquía está en la orientación oblea-vertical.