A spectropolarimetric reflectometer for measuring polarimetric reflection properties of materials over broad spectral wavelength regions is described wherein radiation from a Fourier transform spectrometer passes through a set of polarization elements that serve as a polarization state generator and is reflected off the sample and collected by optics that includes a polarization state analyzer, focusing mirror and detector.

Een spectropolarimetric reflectometer voor het meten van polarimetrische bezinningseigenschappen van wordt materialen over brede spectrale golflengtegebieden beschreven waarin de straling van een de transformatiespectrometer van Fourier door een reeks polarisatieelementen die als generator dienen van de polarisatiestaat overgaat en van de steekproef weerspiegeld en door optica verzameld die een analysator van de polarisatiestaat omvat, concentreert spiegel en detector.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Method of identifying film stacks based upon optical properties

> Method and apparatus for optical endpoint detection during chemical mechanical polishing

> (none)

~ 00084