A method for detecting during a planarization process the removal of a
first layer of material overlying a workpiece is provided. Relative motion
is effected between the first layer and a working surface to remove the
first layer. A light having a spectrum of wavelengths is transmitted to
the workpiece. The intensity for each of a plurality of reflected
wavelengths of a reflected light reflected from the workpiece is measured
to obtain a spectrum. The spectrum is a function of the plurality of
reflective wavelengths. A spectrum reference value is calculated and a
plurality of spectrum difference values are calculated by subtracting the
spectrum reference value from the spectrum. An absolute value for each of
the plurality of spectrum difference values that is a function of one of
the plurality of reflected wavelengths that falls within a selected range
of wavelengths is summed together to obtain a delta value. An endpoint
parameter is calculated from the delta value.
Une méthode pour détecter pendant un processus de planarization le déplacement d'une première couche de matériel recouvrant un objet est fournie. Le mouvement relatif est effectué entre la première couche et une surface de fonctionnement pour enlever la première couche. Une lumière ayant un éventail les longueurs d'onde est transmise à l'objet. L'intensité pour chacune d'une pluralité de longueurs d'onde reflétées d'une lumière réfléchie réfléchie de l'objet est mesurée pour obtenir un spectre. Le spectre est une fonction de la pluralité de longueurs d'onde r3fléchissantes. Une valeur de référence de spectre est calculée et une pluralité de valeurs de différence de spectre sont calculées en soustrayant la valeur de référence de spectre du spectre. Une valeur absolue pour chacune de la pluralité de valeurs de différence de spectre qui est une fonction d'une de la pluralité de longueurs d'onde reflétées que des chutes dans une marge choisie des longueurs d'onde est additionnées ensemble pour obtenir une valeur de delta. Un paramètre de point final est calculé à partir de la valeur de delta.
