(A) The surface shape of an object (1) is measured by varying the position and/or direction of measurement, and a plurality of sets of partially measured data (2) including the common parts (2a) are acquired, (B) for all the partially measured data (2), the overlapped ranges (3a) of the adjacent common parts (2a) are determined within the measurement error ranges (3), (C) when there are no superposition ranges (3a), it is decided that a combination is not possible, and (D) when there are overlapped ranges (3a), the common parts of each set of partially measured data are combined within the ranges. Thus, combined data can be created at a high accuracy from a plurality of sets of partially measured data based on a small number of repeated calculations.

(A) Поверхностная форма предмета (1) измерена путем менять положение and/or направление измерения, и решена множественность комплектов частично измеренных данных (2) включая общие части (2Јa) приобретена, (B) для всех частично измеренных данных (2), котор перекрыли ряды (3Јa) смежных общих частей (2Јa) обусловлена внутри ряды ошибки измерения (3), (C) когда не будут рядов суперпозиции (3Јa), оно что комбинация не по возможности, и (D) когда будут, котор перекрыли ряды (3Јa), совмещены общие части каждого комплекта частично измеренных данных в пределах ряды. Таким образом, совмещенные данные можно создаться на высокой точности от множественности комплектов частично измеренных данных основанных на немного повторных вычислений.